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螺旋相位片可以使一束入射的平面光产生光学相位与旋转方位角成正比的均匀圆环光斑，属于衍射光学元件的一种。当然，也是需要用到光学超声波清洗机来清洗斑点的，因光学超声波清洗机可以做到清洗、烘干一体完成。
光学超声波清洗机运用到的清洗原理：
清洗过程中工件通过超声波高频产生的“气化现象”的冲击和系统自身不停地作上下运动，增加了液体的摩擦，从而使工件表面的污垢能够迅速脱落，实现其高清洁度的目的。
威固特配置的光学超声波清洗机型号为VGT-1307FP的结构系统：
配置有循环过滤系统、自动恒温系统、抛动系统、超声波清洗系统、抽风装置、IPA漂洗系统、IPA烘干系统等。
设备清洗流程：
上料→1洗剂清洗机→2市水漂洗→3洗剂清洗→4洗剂清洗→5市水清洗→6纯水漂洗→7纯水漂洗→8纯水漂洗→9IPA漂洗漂洗→10IPA漂洗→11IPA漂洗→12IPA漂洗→13IPA烘干→下料。
设备每个槽都一一对应一台发生器：
1．配置第四代超声波发生器，从根本上保证超声波的有效转换率，保证超声波效果并保证超声波发生器质量的稳定性；
2．超声波发生器内设单片机，内附特有的定时系统，可根据生产需要任意调整清洗时间并形成一对一的设置，定时更具灵活性，保证清洗的一致性；
3．超声波强度光电信号显示。
对首段说到的清洗、烘干一体完成中的烘干系统，就是我司的超声IPA脱水槽：
1．独立清洗槽，结构为锯齿形四面溢流，溢水槽宽35 mm。通过溢流将槽内液体不断流入到储液箱，然后经过循环过滤再泵入清洗槽内使用；
2．设置独立循环过滤系统；
3．槽底部排液阀排液至储液箱；
4．槽外设置抛动。
蒸汽烘干槽也是其中一项：
1．蒸汽浴洗的加热方式采用高温油（导热油或采用蒸汽，下同）外包间接加热,由于高温油加热温度高,且对IPA加热密度均匀,因此可以获得均匀、足够地蒸汽密度，获得良好的蒸浴效果和干燥效果。因是外包间接加热，安全性高；
2．为减少挥发，降低使用成本，防止异味的溢出，又可获得良好的冷却干燥效果。因此，在上部设足够冷却区间，并分为两层冷凝管冷却，由冷水机提供冷却源（需方自备）。采用“大肚婆”的形式；
3．IPA由于易溶于水，一定时间后浓度会降低，为保证蒸浴和干燥效果，需要定时更换IPA溶液。更换时可以通过球阀控制，排放到废液储存箱；高温油设液位保护装置。
慢拉提升机构原理优势必在：
高精度表面清洗除前面需要有合理的清洗工艺和配置外，更需要良好的脱水效果。工件表面如果有任何垢点或积水点，最后都将影响清洗效果。IPA有较高的沸点，又能较好的溶于水，经过前面IPA的有效脱水和该槽的蒸汽浴洗，工件表面已仅存IPA，经过高温后有效地散失，可以实现表面高清洁度和干燥之目的。
顶部FFU所起到的作用：
在烘干槽的顶部加设FFU系统，有效减少环境对洗净效果的影响；（工件加温后，对灰尘的附着力增强，FFU形成负压可有效减少环境对洗净效果的影响，从而从根本上提高产品合格率）。